Uçýan lazer kebşirleme başlyklarynyň jikme-jik gysgaça mazmuny

Jikme-jik gysgaça mazmunyUçýan lazer kebşirleme başlyklary

Ol komponentleriň atlaryny, kesgitlemelerini, ýörelgelerini, dizaýn parametrlerini we formula hasaplamalaryny öz içine alýar we şu aşakdakylara degişlidirýokary tizlikli skanirleme kebşirlemesi(galwanometr ulgamlary ýaly) ýa-da uzakdan kebşirlemek üçin ulanylýan enjamlar.

1. Uçýan Kebşirleýji Lazer Kebşirleýji Başlyklaryň Düzümi we Kesgitlemesi

Uçýan kebşirleme (Skanirleýji lazer kebşirleme) lazer şöhlelerini şöhlelendirýän ýokary tizlikli galwanometr arkaly dinamiki fokuslamany amala aşyrýar we uly meýdan weýokary tizlikli kebşirlemeOnuň esasy bölekleri aşakdakylardyr:

1. Şöhle Kollimasiýa Moduly

Kollimator

Funksiýasy: Optiki süýümiň çykarýan tapawutly lazerini (NA=0.1~0.22) parallel şöhle öwürmek.

Esasy parametrler: Fokus uzynlygy fcoll, kollimirlenen şöhle diametri Dcoll.

Formula：

1.2 Galwanometr Skanirleme Ulgamy

X/Y okly Galvo aýnalary

Funksiýa: Iki ölçegli tekizlik skanirlemesini gazanmak üçin ýokary tizlikli aýlanýan aýnalar arkaly ýagtylyk şöhlesiniň ugruny üýtgediň.

Esasy parametrler: Skanirleme tizligi (adatça ≥10m/s), ýerleşdirmegiň takyklygyny gaýtalamak (<±5μrad), aýnanyň ölçegi (şöhläniň diametrini Dcoll bilen örtmeli).

Galwanometr motory: <1ms jogap wagty bolan serwo motor ýa-da galwanometr motory.

1.3 Dinamik Fokuslaýyş Moduly (F-Teta Linzasy ýa-da Galwanometr + Tekiz Meýdanly Linza)

F-Teta linzasy

Funksiýa: Fokus yzygiderliligini saklamak üçin galwanometriň egilme burçuny tekizlikde çyzykly süýşmä öwürmek.

Esasy formulalar:

2. Iş prinsipi

Şöhle ýoly: Lazer → Kollimator → X galwanometr → Y galwanometr → F-Teta linzasy → Iş böleginiň ýüzi.

Dinamik fokuslama:

Galwanometriň egilme burçy θ bolanda, fokus pozisiýasy (x, y) F-Teta linzasy tarapyndan aşakdaky ýaly öwrülýär:

3. Esasy dizaýn parametrleri we formulalary

3.1 Nokat ölçegleriniň hasaplanmagy

Fokuslanan nokadyň diametri d (difraksiýa çägi):

3.2 Skanirleme aralygy we galwanometr burçy

Maksimum skanirleme aralygy L:

3.3 Kebşirleme tizligi we tizlenmesi

Çyzykly tizlik v

3.4 Fokus çuňlugy (DOF)

3.5 Energiýa dykyzlygy we energiýa girişi

Kuwwat dykyzlygy I:

Energiýa dykyzlygy E (impulsly kebşirleme):

4. Aberrasiýalar we optimizasiýa dizaýny

4.1 F-Teta linzasynyň aberrasiýasyny düzetmek

Buzulma: Ol r∝θ-ny kanagatlandyrmaly we çyzykly däl buzulma <0.1% bolmaly.

Meýdan egriligi: Köp linzaly toparlar arkaly tekiz meýdany dizaýn ediň.

4.2 Galwanometr Sinhronizasiýa Ýalňyşlygy

Elliptik nokatlaryň öňüni almak üçin X/Y galwanometr gijikmesi <1μs bolmaly.

5. Dizayn prosesiniň mysaly

Giriş talaplary: Skanirleme aralygy L, nokat ölçegi d, kebşirleme tizligi v. F-Teta linzasyny saýlaň: fθ-ni L=2fθtan(θmax) görä kesgitläň.

Galwanometriň parametrlerini hasaplaň: Burç tizligi ω=v/fθ we galwanometriň işini barlaň.

Nokat hilini barlaň: Zemax/OpticStudio arkaly linza toparynyň aberrasiýalaryny optimizirläň.

6. Howpsuzlyk çäreleri

Termal dolandyryş: Galwanometrler we linzalar ýokary kuwwatlylykda (meselem, >1 kW) suw bilen sowadylmagy talap edýär.

Çaknyşmadan gorag: Galwanometrler mehaniki çaknyşmanyň öňüni almak üçin gyssagly tormozlamaga mätäç.

Kalibrleme: Optiki ýoluň koaksiallygyny (spaýlaşma <0.05 mm) yzygiderli kalibrläň.